pHEMT表征

hrx射线衍射法用于测量表面层是很成熟的。的力量QCVelox-E是目前最先进的epi监测技术的领导者，广泛应用于化合物半工业。一个关键的应用是监测射频器件中使用的pHEMT结构的外延层。这些结构包含InGaAs、AlGaAs和GaAs层的组合，单独的组成和厚度对性能至关重要。使用HRXRD可以在几分钟内精确确定这些参数，并进行全自动测量和RADS分析。

可选配SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载，完成系统的自动化。

组成、应变状态和层厚是决定半导体器件(如HEMTs或激光结构)性能的关键参数。
高分辨率x射线衍射是分析方法的选择，当涉及到以尽可能高的精度来确定这些参数。

Bruker的XRD旗舰解决方案，D8 DISCOVER系列，配备了领先技术的x射线源和探测器，高分辨率光学和样品台，允许大晶圆映射。
的D8发现结合了XRD性能和易用性。自动化测量和分析程序使其成为研究和工艺开发中半导体异质结构调查的完美解决方案。