XFlash FlatQUAD

XFlash^®FlatQUAD是全税公寓，基于一种新颖的探测器概念。这包括从极片和样品之间的侧面定位探测器。因此，探测器安装在SEM室的水平端口上。很少延伸到杆件下方的传统探测器需要倾斜端口。为了确保与许多不同类型的SEM兼容，探测器可以在X、Y和Z方向上精确定位。

XFlash的四个独立硅漂移检测芯片^®扁平四边形探测器围绕探测器模块中的孔呈环形排列。初级电子束通过这个开口。这种设计，以及保持探测器手指尽可能薄的意图，需要一种新的方法来防止背散射电子到达探测器芯片。探测器配有不同厚度的特殊聚合物窗口。它们吸收后向散射的电子，同时允许X射线通过。聚合物窗口安装在滑块上，可在不影响真空的情况下进行更改。这使得SEM加速电压在探测器处于测量位置时发生变化。

位置和尺寸（4×15 mm^2.探测器芯片的有效面积）为SEM中的X射线收集提供了最大的立体角。根据具体的几何条件，结合60°或更大的高起飞角，可能会有1个以上的sr。收集效率可能导致极高的计数率。因此，所有四个探测器芯片都配备了单独的信号处理通道。这允许输入计数率（ICR）高达4000000 cps，组合输出计数率（OCR）高达1600000 cps。XFlash^®FlatQUAD在Mn Kα和100000 cps输入计数率下提供了126 eV的出色能量分辨率（Ck时为51 eV，Fk时为60 eV）。还提供了129 eV和133 eV的分辨率等级。