XFlash FlatQUAD

的XFlash^®FlatQUAD的核心QUANTAX FlatQUAD是基于一种新颖的探测器概念。这包括从极片和样品之间的一侧定位检测器。因此，探测器安装在扫描电子显微镜室的水平端口上。传统的探测器，很少延伸到极点下面，需要一个倾斜的端口。为了确保兼容多种不同类型的SEM，探测器可以在X、Y、Z方向上精确定位。

XFlash的四个独立的硅漂移探测器芯片^®FlatQUAD是在探测器模块的一个孔周围的环形安排。主电子束通过这个开口。这种设计，以及保持探测器手指尽可能薄的意图，需要一种新的方法来防止反向散射电子到达探测器芯片。探测器配备了特殊的可变厚度聚合物窗。它们吸收背向散射的电子，同时允许x射线通过。聚合物窗安装在一个滑块上，可以在不影响真空的情况下改变它们。这使得扫描电子显微镜在探测器处于测量位置时可以改变加速度电压。

位置和尺寸(4 × 15毫米²的活动区域)，为扫描电子显微镜中x射线收集提供了最大的立体角。根据具体的几何条件，在60°或更大的起飞角度下，可能超过1 sr。收集效率可导致极高的计数率。因此，所有四个探测器芯片都配备了独立的信号处理通道。这允许输入计数率(ICR)高达4,000,000 cps，组合输出计数率(OCR)高达1,600,000 cps。的XFlash^®FlatQUAD提供了极佳的能量分辨率，在Mn Kα下为126 eV，输入计数率为100,000 cps(在C K下为51 eV，在F K下为60 eV)，分辨率级别为129 eV和133 eV。