XFlash FlatQUAD

的XFlash^®FlatQUAD，核心QUANTAX FlatQUAD，基于一种新的检测器概念。这包括从极片和样品之间的一侧定位检测器。因此，检测器被安装在扫描电镜室的水平端口上。传统的探测器很少延伸到极片下面，需要一个倾斜的端口。为保证与多种不同的SEM类型兼容，探测器可精确定位于X、Y、Z方向。

XFlash的四个独立的硅漂移检测芯片^®FlatQUAD呈环形排列，围绕探测器模块中的孔。主电子束穿过这个开口。这种设计，以及保持探测器手指尽可能薄的意图，需要一种新的方法来防止反向散射电子到达探测器芯片。该探测器配备了特殊的不同厚度的聚合物窗口。它们吸收背向散射的电子，同时允许x射线通过。聚合物窗安装在滑块上，可以在不影响真空的情况下改变它们。这使得扫描电镜加速电压变化，而探测器是在测量位置。

位置及尺寸(4 × 15mm)²在扫描电镜中，探测器芯片的活性区域)为x射线收集提供了最大的立体角。根据具体的几何条件，结合60°或更多的高起飞角，可以有超过1个sr。收集效率会导致极高的计数率。因此，所有四个探测器芯片都配备了独立的信号处理通道。这允许输入计数率(ICR)最高为400万cps，组合输出计数率(OCR)最高为160万cps。的XFlash^®在Mn Kα和100,000 cps输入计数率(C K和F K分别为51 eV和60 eV)下，FlatQUAD的能量分辨率为126 eV和133 eV。