内置ARGUS成像系统的扫描电镜能力的STEM

超能力者联盟——全视的神话巨人回来了

和它的前辈一样,OPTIMUS 2探测器头设计为内嵌式百眼巨人TM系统提供扫描电镜成像能力的STEM。OPTIMUS 2的前端有三个硅二极管,屏幕中央有一个硅二极管。OPTIMUS 2提供:

  • 暗场成像(DF)
  • TKD成像时的亮场(BF)样成像
  • 成像速度高达12.5万像素/秒
  • 全自动信号优化,以创建具有无与伦比的质量和细节的图像

这种新型的类bf成像能力对于绘图过程中的漂移校正以及动态实验中样品的近实时可视化特别有用,比如原位拉伸测试、加热和电子透明样品的电偏置。

2.8 m像素的类东风图(左)和放大后的非晶Si₃N₄膜上20nm金薄膜的高亮区域,显示了低于10nm的退火孪晶。图像采集时间为66秒,探头电流为800 pA,加速电压为30 kV。主图和放大后的视图图像中的比例尺分别代表400nm和50nm。