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Micro-XRF的关键优势是样品制备的最低要求。然而,必须定义分析平面的测量平面。许多样本不是完全平面的,也不能改变它们(即重要的历史博物馆文物)。为了对具有地形的样品进行定性分析(例如地图或线扫描),表面的一部分将在焦平面之外。孔径管理系统(AMS)旨在增加景深。就像光学成像一样 - 但出于截然不同的原因 - 镜头在镜头上增加了景深。因此,即使对于具有较高地形的样品,大多数结构仍然处于焦点之中,即在焦平面内。