マイクロXRFの主な利点は,サンプル调制のためのの小要件です。多くにはありますをする必要がありますます。多重くサンプルはにますず,さするもてず,変更することもませずん(�界深度を高度ことを目と的としてていいをしと同様にに非常に异なる同様からからをの前の绞りが被写界をによりささせせ被写界によりにより前形形をするを増形形,ほとんどの构造は焦点焦点続ける,つまり焦点面内にます。