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半导体与纳米技术
高级电源(GaN和SiC)
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Bruker HRXRD/XRR系统是表征先进功率系统(如Si和SiC上的GaN)的首选系统。它们被用于世界各地的生产线,用于测量薄膜厚度、成分和质量,以确保Bruker客户的高产量。
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GaN-on-Si功率器件计量
已经为GaN-on-Si应用开发了一整套计量系统。
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碳化硅缺陷率
X射线衍射成像(XRDI,也称为X射线地形图)和微X射线荧光成像(micro XRF)用于对其他完美(或接近完美)衬底中的晶体缺陷进行成像和可视化。
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