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半导体与纳米技术

高级电源（GaN和SiC）

先进电源

Bruker HRXRD/XRR系统是表征先进功率系统（如Si和SiC上的GaN）的首选系统。它们被用于世界各地的生产线，用于测量薄膜厚度、成分和质量，以确保Bruker客户的高产量。

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先进电源

GaN-on-Si功率器件计量

已经为GaN-on-Si应用开发了一整套计量系统。
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先进电源

碳化硅缺陷率

X射线衍射成像（XRDI，也称为X射线地形图）和微X射线荧光成像（micro XRF）用于对其他完美（或接近完美）衬底中的晶体缺陷进行成像和可视化。
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