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x射线衍射成像(XRDI,也称为x射线地形图)是用来成像晶体缺陷在其他完美(或接近完美)的基片。使用QC-RT上的虚拟狭缝,可以在模式下对样品进行成像,以显示划痕、位错和其他缺陷,还可以在基片内进行图像定向对比。
这些图像是由相同的数据创建的,并允许使用不同的处理方法对不同的长程和短程特征进行成像。