缺陷和污染

CDTE监视

CDTE监视

X射线衍射成像(XRDI,也称为X射线地形)用于在原本完美(或接近完美)底物中成像晶体缺陷。使用QC-RT上的虚拟缝隙,可以以模式对样本进行映像以可视化划痕,错位和其他缺陷,但也可以在基板内图像取向对比度。

以模式图像样本

使用QC-RT上的虚拟缝隙,可以以模式对样本进行映像以可视化划痕,错位和其他缺陷,但也可以在基板内图像取向对比度。

从相同数据创建的图像

这些图像是根据相同数据创建的,并允许使用不同的处理来成像不同的长距离和短距离特征。