半导体与纳米技术

高级存储器

高级存储器

从手机到笔记本电脑和高端服务器，所有设备中都有不同种类的存储器。这些存储器包括DRAM、3D-NAND以及最近的相变存储器（如XPoint）和MRAM。Bruker使用一系列X射线系统和技术来描述薄膜的关键参数：从厚度、成分到形状轮廓。

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薄膜结晶度

金属/氮化物薄膜的结晶特性对高级存储器中的器件性能至关重要。

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高级存储器

pcram的厚度和成分

大多数新兴存储器都是由复杂的多元素结构组成的堆栈。Sirius RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测。快速会聚束XRR允许在每点1-2秒的时间内测量厚度。

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