PCRAM厚度和组成

非常适用于监控相变内存和其他具有复杂多元素结构的新出现的存储器，Bruker的Sirius-RF工具将X射线反射率（XRR）厚度测量的功率与多源μXRF的堆叠中的X射线反射率（XRR）厚度测量相结合，以确定垫和细胞区域上的组成和厚度。

例如，系统用于测量存储元件（GESBTE - GST）和纵阈开关（OTS，GEASSE）的组成和厚度，这两者都是关键参数。

Sirius-RFμXRF允许在Metrology Pad或设备区域进行在线组成监测。快速收敛光束XRR允许厚度测量在每点1-2秒。

理解薄膜材料中的相位过渡行为对于PCRAM器件的开发至关重要。必威手机客户端
非环境X射线衍射允许精确测定结晶相和晶格参数作为温度的函数。
此外，X射线反射测量是最准确的非晶体GST薄膜厚度测定的非破坏性方法。

布鲁克的实验室衍射解决方案，D8发现和D8推进，是强大的XRD工具，支持PCRAM设备的研发。