PCRAM厚度和成分

非常适合监控相变存储器和其他由复杂、多元素结构堆叠而成的新兴存储器，布鲁克氏天狼星RF该工具将堆叠中各个层的X射线反射率（XRR）厚度测量功能与多源µXRF结合起来，用于确定焊盘和电池区域的成分和厚度。

例如，该系统用于测量存储元件（GeSbTe-GST）和Ovonic阈值开关（OTS、GeAsSe）的组成和厚度，这两个参数都是关键参数。

Sirius RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测。快速会聚束XRR允许在每点1-2秒的时间内测量厚度。

了解薄膜材料中的相变行为对于PCRAM器件的发展至关重要。必威手机客户端
非环境X射线衍射允许精确测定结晶相和晶格参数作为温度的函数。
此外，X射线反射法是测定非晶态GST薄膜厚度的最准确的非破坏性方法。

布鲁克实验室衍射溶液，D8发现和D8预付款，是支持PCRAM器件研发的强大XRD工具。