PCRAM的厚度和组成
PCRAM的厚度和组成
Bruker的x射线系统为在线过程监控和材料研发表征提供了解决方案。必威手机客户端无论是新兴记忆的复杂、多元素结构，还是更传统的PCRAM结构，我们的系统提供了精确确定和监测晶体相所需的关键信息。
串联组成监测
理想的监控相变存储器和其他新兴存储器，它们是复杂的、多元素结构的堆栈，力量的Sirius-RF该工具将x射线反射率(XRR)厚度测量与多源µXRF结合在一起，以确定衬垫和电池面积的组成和厚度。
例如，该系统用于测量存储元件(GeSbTe - GST)和Ovonic Threshold Switch (OTS, GeAsSe)的组成和厚度，这两者都是关键参数。
Sirius-RFµXRF允许在线成分监测计量垫或设备区域。快速会聚束XRR可以在1-2秒内测量每一点的厚度。
GST薄膜相变的原位研究
了解薄膜材料的相变行为对开发PCRAM器件具有重要意义。必威手机客户端
Non-ambient x射线衍射允许精确地确定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶GST薄膜厚度最精确的无损方法。
