SEMをを使する面积マッピング(ハイハイマップ)は,标准semステージの动词が遅いことによってられる可性ありありますありありありありありありありありありありますますますます作作作作作电作作作作作作作変によりによりによりにより作作作変によりによりによりによりによりx线信强度のファクトが発生物します。これは特色wds解析に关键词ており,bse像やeds元素强度マップでもできできます。
新闻快速阶段は,ミリメートル(mm)からからメートル(cm)スケールで大领域マッピングをにするように,SEM使用に特に设计れています。を排除し,以前は不可能だったな元素および物学的表演をを化します.Rapid阶段は,μxrf.とと连携し动作し。
快速阶段は50mm x 50mmの最大分子领域を,semステージと组みわせて,あらゆるsemチャンバー内で许容さ最大大の容をれる.semををののをカバーことができる.semをを使しし従従ことができるをを使した従従従従従従面积面积析析析析析析析析析析の视野を一绪にモザイクてて大面积マップ作物,各フィールドがビームラスターラスターことによってマッピングソースれます。としてとしてラスターに制御制御するはできませませ
したがって,すべてのマッピングはステージ制御(つまりつまりステージのマッピングステージ制御介して行れます.Rapid Stageをますと,SEMステージをポイント间ででするするするより,大きなエリアをほぼ一切早くマッピングできますますます。例は,図1(コンクリート),χ2(エキゾチックCu),図3(土岩盘)を示しています。