使用扫描电镜(SEM)进行大面积绘图(Hypermaps)可能会受到标准扫描电镜阶段缓慢移动的阻碍。此外,由于分析过程中电子束与样品相互作用的差异,在低放大倍数下可能存在x射线信号强度伪影。这与WDS分析特别相关,也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
的快速的阶段是专门为sem设计的,以实现在毫米(mm)到厘米(cm)尺度上的大面积映射。这将消除与低放大率制图相关的潜在的SEM x射线强度变化赝像,从而在一个时间范围内增强元素和矿物学信息,这在以前是不可能的。快速阶段也与micro-XRF.
快速阶段的最大分析区域为50 mm x 50 mm,可以与SEM阶段结合扩展,以包含任何SEM室允许的最大空间区域。传统的使用SEM的大面积分析是基于将多个视场拼接在一起来创建大面积地图,其中每个单独的视场都是通过光栅绘制的。与样品相互作用的源x射线束处于固定位置,因此不能像标准的SEM电子束那样控制光栅。
因此,所有的映射都是通过舞台控制(也就是舞台移动)。因此,快速阶段可以使大面积区域的地图绘制速度几乎比从一点移动到另一点快一个数量级。实例如图1(混凝土)、图2(外来铜)和图3(土基岩)所示。