使用SEM的大面积映射(Hypermaps)可以通过标准SEM阶段的慢速移动妨碍。另外,由于电子束和分析期间的样品相互作用,存在低放大率的潜在X射线信号强度伪影。这对于WDS分析特别相关,并且也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
这快速阶段专门用于SEM,以使大面积映射超过毫米(mm)到厘米(cm)尺度。这将消除与低放大率映射相关的潜在的SEM X射线强度变化伪像,从而在以前不可能的不间断的庄园中增强元素和矿物学信息。快速阶段也与之结合操作微XRF.。
快速阶段的最大分析面积为50mm×50mm,可以与SEM阶段结合扩展,以包括任何SEM室内允许的最大可能的空间区域。使用SEM的传统大面积分析基于镶嵌众多视野,共同创建大区域地图,其中通过光束光束映射每个单独的字段。与样品相互作用的源X射线束处于固定位置,因此不能控制为栅格作为标准SEM电子束。
因此,所有映射都是通过阶段控制(即阶段运动)。因此,快速阶段使大区域能够比将SEM阶段从点到点移动更快地映射到几乎幅度。实施例如图1所示。1(混凝土),图1(异国Cu)和图3(土壤基岩)。