半导体マイクロチップ材料元素同定

性セラミックタングステンシリサイドは，マイクロチップのマイクロエレクトロニクスでれれてていいますますますます。。タングステンシリサイドシリサイドは，，，，ウエハウエハウエハウエハなどの半导体半导体

品质中とナノレベルで高い分解能を実现するするは，，，低低加速加速加速电圧电圧で解析をを行う行う必要必要がががありあり，これらこれらののの相相のの同定同定线となっいるタングステンステンステンシリーズエネルギーラインが生成されます。。

结果として一元素のののピークピークピーク，，第第第第相相相の存在を覆う覆う覆うます。それそれととはは対照対照的Quantax WDSを使用十分十分の元素を识别ことが可能。。