繁体微芯片材料的元素识别

导电光陶瓷材料化物常于于于微。

为了在质量控制中实现微和纳米水平的高空间分辨率,材料必须以低加速电压进行分析,而这个前提使这些物相的识别变得困难。在这个例子中,W M 线系的谱峰可以被激发,而这些谱峰会与基板材料 Si K+线系发生严重重叠。

由此产前的主要(si)的eds峰值会变宽,并掩盖了第二物相(w)的现处。相对应,如果使用量化WDS进行分类,由于其卓越的批量分类,w和si的每个峰都被被完美识别。

wds采集的电子芯片上si和w元素的分布图
在1.6-2.0 kev销量范围,硅化钨材料毫无重叠的谱峰展现了wds的高分子量分量