ML plus

多層膜試料の層厚や化学組成は、MLplusで簡単に解析できます。ML plusは、波長分散型蛍光十、線分析装置（WDXRF）S8老虎で使用可能です。

毫升^加は光谱^加を拡張し、波長分散型蛍光十、線分析（WDXRF）による単層および多層試料の分析を可能にしました。これにより、数原子層（1纳米以下）からµmあるいは嗯までの薄膜試料の厚さや組成を直接測定することができます。

毫升^加では、ファンダメンタル・パラメータ法により解析を行います。MLplusの厚さと組成の決定は、光谱^加のスタンダードレス分析に基づいています。特定の多層膜標準は必要ありません。もちろん、結果を最適化するために、様々な多層膜標準物質を登録して使用することもできます。

毫升^加は、モデルを設定した後、1.回の測定ごとに自動評価を行うことができます。多層膜解析は、層状ガラスやメッキ試料といったコーティングなど、日常的なプロセスコントロールに利用できます。