毫升+
光谱仪에의한다층및박막분석
다층샘플의층두께및화학조성은X선형광분석(光谱仪)으로쉽게결정됩니다。계층화된시료는파장분산X선형광분광계(WDXRF)S8老虎에서직접분석됩니다。
毫升+는파장분산X선형광분석(WDXRF)을가진단층및다층샘플의분석을위해光谱+를확장하고있다。그것은여러원자층(미만1海里)과μm -또는mm범위까지여러원자층(1海里미만)까지아래로층샘플의두께와구성의직접측정을할수있습니다。
毫升+는모든계산에대한전체기본매개변수접근방식을사용하고있습니다。MLplus의두께및조성의결정은光谱+,즉특정다층표준의표준없는보정을기반으로합니다。그럼에도불구하고사용가능한다층표준을사용하여결과를최적화할수있습니다。
毫升+는모델이설정되면각단일측정후자동평가에사용할수있습니다。따라서계층화된유리또는코팅된강철생산과같은일상적인공정제어에다층분석을사용할수있습니다。
