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Bruker提供的分析解决方案可以实现材料的纳米化学和结构表征,这对于设计和优化内存和可编程逻辑器件的制造过程至关重要。必威手机客户端
随着逻辑器件变得越来越复杂,引入了finFET、纳米片和其他复杂结构等创新,对计量的需求也增加了。Bruker为我们的关键客户提供了一套产品来支持这些设备的开发和生产,包括结合HRXRD和XRR测量复杂的3D epi和AAFM测量纳米片形状。