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Bruker提供的分析解决方案能够实现材料的纳米级化学和结构表征,这对于设计和优化存储器和可编程逻辑器件的制造工艺至关重要。必威手机客户端
随着逻辑器件变得越来越复杂,引入了finFET、纳米片和其他复杂结构等创新,计量需求也随之增加。Bruker为我们的主要客户提供了一套产品,以支持这些设备的开发和生产,包括用于复杂3D epi和纳米片形状AAFM测量的HRXRD和XRR组合测量。