Nanosheet发展

该堆栈由多个Si和SiGe层组成。现有的HVM计量无法轻易区分各个层，但将报告一个平均值。

通过XRR和HRXRD分析，可以直观地看出单层、多层叠层的厚度和组成。

• 利用x射线反射率(XRR)测量厚度。
• 这些结果被前馈到高分辨率衍射(HRXRD)模型，以获得最佳结果

这些测量在我们的全自动设备上是例行的JVX7300LSI系统．

x射线衍射(XRD)和x射线反射(XRR)是无损分析多层样品结构的强有力的方法，可以提供绝对层厚、密度和成分的高精度信息。
与D8发现家庭和D8推进+， Bruker提供广泛的XRD解决方案，以满足半导体市场的研发需求。
DIFFRAC。LEPTOSBruker的强大薄膜分析套件，允许同时细化XRR和HRXRD数据，以最大限度地提高信息产量。

功能层厚度的减小使得涂层厚度的测量成为一项极具挑战性的任务。Micro-XRF可以测量的厚度范围从一位数nm到几十微米，取决于目前的元素。对于具有必威手机客户端高灵敏度的材料，即使是亚单分子层也可以进行分析，通常测量的是每一层沉积的质量而不是厚度。