请在我们的应用说明中进一步探讨应用示例:
半导体上的钝化层起着重要的作用,可作为保护层、电子隔离层或抗反射率层。Bruker FTIR研究光谱仪是对这种钝化层进行快速、灵敏和无损分析的理想工具。
FTIR光谱仪允许以最高的精度确定半导体层结构的层厚度。该应用基于对所研究层产生的干扰的评估,可应用于厚度小于1微米至数毫米的层。
掺杂浓度
通过自由载流子的红外相互作用,红外光谱还可以用于确定有意掺杂半导体和半导体层的掺杂浓度。在高掺杂浓度的情况下,这通常是通过反射率光谱,应用一个基于麦克斯韦方程的专用评估软件。
晶圆映射
通过配备专用的晶圆映射附件的Bruker research FT-IR光谱仪,可以对晶圆进行映射测量。结合层厚评估、层的定量分析等功能,可自动记录不同样品位置的反射光谱和透射光谱。