网络研讨会

刚出现的无窗高收集角EDS探测器,具有100 mm²椭圆形硅漂移探测器面积

新型无窗EDS检测器

我们宣布发布新的大收集角EDS探测器,其椭圆形SDD面积为100 mm2XFlash®6T-100椭圆形用于TEM和STEM以及XFlash®6-100SEM和T-SEM为椭圆形。

本网络研讨会将介绍探测器的特点、显微镜探测器几何结构的细节以及各自的数据采集和分析。将解释不同大收集角EDS设置的定性和定量元素映射(图1和图2),并与标准EDS获得的结果相关。

已证明,在TEM/STEM上约12°的高起飞角下,探测器可提供0.4 sr至0.7 sr的收集角,在SEM上可提供高达0.4 sr的收集角。与显微镜制造商合作,针对每种特定的显微镜类型优化极片到检测器的几何结构。这使得能够在纳米尺度上快速和常规地绘制元素,而不会影响显微镜性能、合适的电子探针质量和提供的样品制备。在STEM原子柱中,EDS(图3,[1])以及单原子识别[2]成为可能。

[1]室温多铁性材料中磁离子分配的直接原子尺度测定L.Keeney等人,《科学报告》第7期,文章编号:1737(2017),开放获取

[2]X射线光谱法鉴定单个杂原子R.M.Stroud等人,APL 108,163101(2016),开放存取

谁应该参加?

  • 来自工业界和学术界的科学家和应用科学家致力于显微镜技术以及无机和有机材料的表征必威手机客户端
  • 对TEM和STEM中高效快速高空间分辨率高端EDS感兴趣
  • 对电子透明样品的标准EDS感兴趣
图1纳米分辨率下半导体结构的元素映射。资料提供:高级电路工程师
图2半导体结构的EDS峰分离。资料提供:高级电路工程师
图3使用Nion Ultra STEM200XE的多铁性材料的原子柱EDS。数据由L.Kenney等人提供,TCD都柏林

演讲者

梅肯·福克博士

布鲁克纳米分析公司TEM-EDS全球产品经理

安迪卡佩尔

Bruker Nano Analytics高级产品经理EDS/SEM