冷冻剂

Cryosas vereint DieLeistungsfähigkeitvon von ft-ir-Spektrometern Mit Intemerter“封闭循环”技术，Die die dasabkühlender proben und des des desektorsohneflüssigeshelium helium heliumermöglicht。Alle Cryosas-komponenten Sind Auf Dem neuesten Stand der Technik und Basieren aufbewährtenTechnologien，Die eine eine anspruchsvolle andarytik im umfeld umfeld derSiliziumproduktionermöglichen。Cryosasverfügtüberein hohesmaß自动化einschließlichder automatischen erestellung des alageereereports。

Herausragende Merkmale：

Hohe Empfindlichkeit：

冷冻菌AnalysiertflacheStörstellen（Z。B。Bor，磷剂等）NACH ASTM/SEMI MF1630 BIS HINAB中的hinab in den Niedrigen ppta-bereich。同步Zur分析Der FlachenStörstellenKönnenunter unter anwendung des astm/semi MF1391-标准 - den niedrigen ppba bereich bereich bereich berereich allyysiert werden中的kohlenstoff und sauerstoff bis。

geschlossene kryogenekälteanlage：keine teurenflüssigenkryogene erforderlich

Hochzuverlässiges闭合循环-Kryokühlsystemfürdetektor- undprobenkammerkühlung。Im Vergleich Zu einerflüssigenhelium-gekühltenKälteanlageKann das geschlossene kreislaufsystem 50.000€betriebskosten pro jahr jahr und noch mehr einsparen。

Probenraum aus rostfreiem edelstahl：komfortabler probenzugriff

bewährtesprobenraum设计mitStationäreroptik und automatisiertem probenkopf。dergroßeinsendurchmesser des probenraums erlaubt einen einfachen zugriff auf auf den probenhalter。

Ölfreievor- und turbopumpe：Einfache und saubere hochvakuumtechnik

Schnelles undZuverlässiges通过Vor-und turbopumpe und。

ROURUSTER，PRäziser自动施术线性素trieb mit Neunfach Probenhalter：

der leistungsstarke linearantrieb des probenhalters erlaubt die messung mehrerer proben。das hohe drehmoment des antriebsmotors和die die rounustegetriebemechanikemöglicheneine einepräziseansteuerung and proben and proben and einezuverlässigefunktionüberjahre jahre hinweg hinweg hinweg。der probenhalterlässtsich komfortabelbestückenund das einsetzen in den probenraum geht geht innerhalb weniger weniger sekunden vonstatten。weiterhin stellt das Design des probenhalters aus goldbeschichtemtem ofhc-kupfer einegleichmäßige温度

Einfachste Bedienung：

冷冻ISTOptimiertFürDenEinsatz im Industriellen umfeld。Alle vakuum- und tutftemperaturkomponenten werden von einer sps angesteuert。derabkühlvorgangund diemessungkönnendurch einen simple knopfdruck auf dem touch屏幕gestartet werden。der anwender muss weder ein spektroskopie- noch ein vakuum- oder tifteftemperaturexperte sein。

Die Cryosas Software IST Intuitiv Bedienbar und Wurde SpeziellDafürEntwickelt，Der IndustrielenQualitätskontrollolleZuerfüllen中的Anforderungen。der anwender muss lediglich diegewünschteAnalysemethodeauswählen，die probeninformationen eingeben und den startbuttondrücken。daraufhinKühlt冷冻剂探针自动机AB，Startet Die Infrarotmessung，Wertet Die Ergebnisse aus and anderstellt Einen analysereerport。

Spezifikatikation

Spektralbereich：1500 - 280厘米^-1OptimiertFürDie Messung von

• FlachenStörstellender 3. UND 5. Hauptgruppe在Einkristallinem siliziumgemäßAstm/semi MF1630中。FürGekeilteProben Mit Einer Dicke von Ca.3毫米SIND DIE FOLGENDEN NACHWEISGRENZEN ERREICHBAR：
  -10PPTA磷剂
  -30ppta bor
• 替代ellem kohlenstoffgemäßAstm/semi MF1391。Diese Methode Erfordert Eine fz-Referenzprobe mitVernachlässigbaremkohlenstoffgehalt，deren dicke undeoberflächenbeschaffenheitMöglicheitMöglichstähnlichiChZur Zur Zur Zur Zur Zur Zur untersuchten probe probe probe seine seine sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sein sololtte。FürGekeilteProben Mit Einer Dicke von Ca.3毫米IST Eine Nachweisgrenze von 20 ppba Erreichbar。