CryoSAS

Le CryoSAS associes un spectromètre IRTF performance intégré et un ensemble de refroidement en circuit fermé sans apport d'hélium liquide。CryoSAS intègre成分à在一个重要的环境下分析硅的技术要点。CryoSAS est opérationnel dans自动化élevé en included la production de rapports précis sur les résultats de chaque analysis。

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Fonctionnalites:

格兰德sensibilite:

CryoSAS分析impuretés超细颗粒(例如:孔，磷，等)只是用niveau du PPTA, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630。

在complément，我分析碳和'oxygène只是在PPBA上做niveau，在conformité符合ASTM/SEMI MF1391标准。

Système de réfrigération en cycle fermé: pas de liquide de refroidissement nécessaire

Système très can de refroidement en circuit fermé pour refroidir le détecteur et l'échantillon。请联系à un système de réfrigération à l'hélium liquide，电子线路fermé permet d'économiser，计划opérationnel, 50,000欧元，您的费用加。

“échantillon en inox”的概念:

Un accès facile pour les échantillons

房间的概念à échantillon est approuvée avec son optique fix et La tête d'échantillonnage automatisée。Le diamètre intérieur important de la chambre échantillon permet d'accéder facility au plateau portte -échantillon。

Pompe primaire sèche et Pompe turbo:
电路功能是通过简单的方法实现的

Évacuation rapide et able grâce à la pompe turbo et à la pompe primaire sèche。

表motorisée pas à pas de haute précision和un porte échantillon de neuf位置:

Cette table motorisée robust interfacée avec le porte-échantillon permet d’analyser plusieurs échantillons。Le moteur à夫妇élevé和de translation robust提供一个位置précis des échantillons pour un functions ement able sur plusieurs années。位置(安装和翻新)échantillons很简单，端口-échantillon不费力气，在房间échantillon。我们的概念是这样的:在我们的门-échantillon上，我们的制服是températures。

Facilite d 'utilisation:

CryoSAS是一个服务于干部工业的产品。我们的设备是可编程PLC控制中心。réfrigération sont placés sous le contrôle。再冷冻和démarrage的方法是把所有的东西都用在简单的东西上。
我用的是光谱和技术方面的专家。
Le logiciel dédié du CryoSAS est conçu pour respect toutes les demandes du contrôle-qualité industriel。
我们将利用très的设施和功能，在écran的触觉上。我可以充分利用我们的选择méthode d’analysis souhaitée puis sais les information sur l’échantillon pour final appuyer sur le bouton démarrage。
Le CryoSAS refroidit automation les échantillons, lance la mesure et évalue les résultats et finalement crée un rapport d’analysis。

技术特点

游戏光谱:1500 - 280厘米^－1优化倒探测

• 列impuretés组III和V的超细表在单晶硅上，conformité符合ASTM/SEMI MF1630标准。
  

因此，我们关注échantillons biseautés quont une épaisseur d’environ 3 mm，限制détection peuvent être atteintes:
- 10ppta注入磷
- 30ppta浇注孔

• 痈de替换， en conformité avec符合ASTM/SEMI标准
  MF1391。

Cette méthode exige un échantillon de référence FZ exempt de carbone don l’épaisseur et les propriétés en surface sont comparables à celles de l’échantillon。
在échantillon biseauté d'une épaisseur d'environ 3 mm，可能是détecter碳浓度下降à 20 ppba。