CryoSAS

CryoSAS将Bruker的高性能FT-IR光谱仪与内置的封闭循环低温冷却技术相结合，不需要任何液氦。CryoSAS的所有组件都是最先进的，并利用经过验证的技术，在要求苛刻的硅生产环境中完成一个困难的分析。CryoSAS可以在高自动化水平下运行，包括准确报告分析结果。

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功能包括:

灵敏度高:

CryoSAS根据ASTM/SEMI MF1630标准分析浅杂质(例如硼，磷等)到低ppta水平。此外，根据ASTM/SEMI MF1391标准同时分析碳和氧到低ppba水平。

闭式循环低温制冷系统:不需要昂贵的液冷

高可靠的封闭循环低温冷却系统，用于检测器和样品室的冷却。与液氦冷却制冷系统相比，封闭循环系统每年可以节省50,000欧元甚至更多的运营成本。

不锈钢样品室设计:
容易得到样品

经过验证的样品室设计与固定光学和自动样品头。样品室的大内径允许样品夹容易访问。

干前泵和涡轮泵:
简单清洁的真空系统操作

通过涡轮阻力泵和干前泵快速可靠的疏散。

稳健、精密的步进电机工作台，配有9个位置的样品支架:

坚固的平移台接口到样品支架，允许多个样品分析。高扭矩电机和坚固的平移机构提供精确的样品索引和多年的可靠功能。样品容易安装和拆卸，样品支架几乎不费力气就能安装在样品室中。镀金的OFHC铜设计的样品持有人确保均匀的温度。

易于使用:

CryoSAS在工业环境中进行了优化。必威东盟体育所有真空和制冷装置均由PLC控制。冷却和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱学专家或真空专家。

专用CryoSAS软件的设计是为了满足工业质量控制的需要。必威东盟体育使用方便，可通过触摸屏进行操作。用户只需选择所需的分析方法，输入样本信息并按下开始按钮。然后CryoSAS将自动冷却样品，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。

规范

光谱范围:1500 - 280厘米^－1优化的检测

• III、V组浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630在单晶硅。对于厚度约为。
  3mm，可达到以下检测限:
  - 10ppta磷
  - 30ppta硼
• 置换碳根据ASTM /半
  MF1391。这种方法需要一个无碳FZ参考样品，其厚度和表面性能可与样品样品相媲美。对于厚度约为。3毫米，可检测到碳浓度降至20 ppba。