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使用SEM-XRF可在具有地形的样品上执行。也就是说,需要最少的样品制备,并且可以直接分析样品而无需任何脱脂。这在土壤分析中尤其重要,因为任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。micro XRF可以直接分析土壤样品,如图1所示。这包括主要元素,但也包括可能含有污染物或毒素的微量元素或微量矿物相(见图2)。在本例中,确定了含有Pb和As污染物的颗粒。