层厚度变化的映射
样品是玻璃基板上的两个电极，是用于光诱导电解的测试装置。它由沿表面浓度梯度的双金属单层组成。玻璃基材通过双铜靶量的磁控溅射覆盖。
由于X射线可能会通过物质，因此XRF通常可以确定层厚度。使用Micro-XRF层分析（厚度和组成）在千分尺尺度上具有空间分辨率可行。层分析强烈基于原子基本参数定量，可以通过使用标准样品来改进。因此，可以用高精度来测量“常见”层系统，例如Enepig涂料，Znni涂层或焊料层，可以测量标准的可用性，但也可以测试R＆D环境中的新型层系统。
将5 x 5cm²的整个样品面积映射，空间分辨率为50 µm，每个像素的测量时间为50 ms。层元素Al和Cu的元素分布清楚地显示了浓度梯度。
用5x5像素箱（用于层厚度分析得出250 µm的分辨率）对Si上的Cu：Al厚度进行了量化数据。这种新样本系统没有参考样品。因此，量化基于基本参数，结果与制造商的期望非常匹配。