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由于X射线可能通过物质,通常XRF允许确定层厚度。使用微XRF.层分析(厚度和组成)与微米刻度的空间分辨率保持不可行。基于原子基础参数量化的层分析强烈,可以通过使用标准样品来改善。因此,“常见的”层系统,例如Enepig涂层,ZnNI涂层或焊料层,可以高精度地测量标准的标准,但也可以测试研发环境中的新型层系统。