层厚度变化的映射
样品，玻璃基板上的两个电极是用于光导电解的测试装置。它由双金属单层组成，沿着表面具有浓度梯度。通过双Cu-Al-靶的磁控溅射涂覆玻璃基板。
由于X射线可能通过物质，通常XRF允许确定层厚度。使用微XRF.层分析（厚度和组成）与微米刻度的空间分辨率保持不可行。基于原子基础参数量化的层分析强烈，可以通过使用标准样品来改善。因此，“常见的”层系统，例如Enepig涂层，ZnNI涂层或焊料层，可以高精度地测量标准的标准，但也可以测试研发环境中的新型层系统。
整个样本面积为5×5cm 2，空间分辨率为50μm，每像素50ms测量时间。层元素Al和Cu的元素分布清楚地显示浓度梯度。
用5×5像素箱上的Si上量化地图数据，用于Cu：Al厚度，具有5×5像素箱（为层厚度分析产生250μm分辨率）。此类新型样品系统没有参考样本。因此，量化基于基础参数，结果与制造商的期望相匹配。