レイヤレイヤ化の
试料は，ガラス基础上の2つの电阻，光诱起电阻の试験です。これは，表面に沿っ浓度勾配を二金属単层构构れれます。スパッタリングによってコーティングされてますます。
X线が物质を通过可する可がため，xrfは一般的に层厚决定を可ににし。マイクロXRF.をを使と，マイクロメートルスケールで空间することで改善できます。したがっしたがっ，eNepigコーティング，znniコーティング，またははんだ层のようなシステムなは，标准が容易は可ですが，研发环境で入手ですですシステムを高度精密に测定することができます。
5 x 5cm²のサンプル领域领域体を，50μmの空间分类でマッピングし，ピクセル当たり50 msの测定测定测定测定た。
マップデータは，5 x 5ピクセルのビンビンをしsi上のcu：alの厚ささの化まし（レイヤー厚さでは250μmの解像度を得ますますますますの载物はパラメータん。