SIRIUS-FW
全自动XRF计量平台，用于先进的晶圆级封装
关键的计量
高产
集锦
天狼星
Sirius FW是第四代全自动µXRF计量平台，提供专门的单凸点计量，以监测阻焊凸点和凸点下金属化中的%Ag。其成熟的技术拥有经现场验证的正常运行时间超过95%。Sirius FW系统能够测量直径小至10µm的单个焊点，且定位精度为亚微米。其自动强度校正（AIC）确保长期稳定性和漂移消除。正如生产工具所预期的那样，天狼星FW是配方驱动的，支持完全的工厂自动化。
优化
垂直激励µXRF
内联HVM计量的理想设计配置
<15µm
AgKα上的小斑点
导致对Z误差的敏感性较低
>95%
正常运行时间
第四代平台具有经现场验证的性能。
特征
主要特征
- 带垂直激励的µXRF-用于内联HVM计量的优化配置
- 小斑点（AgKα上小于15µm）
- 对z误差的灵敏度低
- 边缘排除<0.5 mm
- 低功率密封x射线W管无损检测
- 多毛细血管调节光学，多色激发
- SDD探测器阵列用于高效光子收集
- 象限收集减少了对横向误差的依赖，这在测量圆顶形焊点时尤为重要
- 支持高度弯曲的基板(可弯曲2mm)，玻璃基板
高产仪器
天狼星FW的应用有助于提高产量：
- %Ag-in-SnAg焊料–控制凸点回流温度的关键，用于常规凸点形状和焊接
- 焊料凸点高度、UBM的金属厚度（凸点下金属化）、背凸点、RDL（再分布层）和柱高度：Cu、Ni、Au、Pd-Ti–良好键合所需的跨晶圆平面度的关键
利益
利益
- 用于确定工艺足迹的单凸点计量法
- 关键应用的GR&R计量能力
- 具有生产价值的生产率和MAM（移动-获取测量）时间：金属厚度为秒，Ag%和凸起高度为30-60秒
- 主要包装厂的TOR，经验证的稳定性和机队匹配性
支持
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用程序问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具售出很久。betway手机客户端下载
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