Argus FSE/BSE成像系统

FSE/BSE检测器安装在Eflash屏幕上方和下方

Eflash EBSD探测器可选可用于Argus™前叉电子(FSE)和反向散射电子(BSE)成像系统。这进一步增加了检测器的多功能性,并为有意义有效的微观结构表征提供了宝贵的附加信息。

两个BSE检测器的集合安装在EBSD检测器的屏幕上方。三个FSE探测器在屏幕下方。检测器的这种位置不会影响EFLASH的性能或用户友好性,屏幕仍然可以更换用户。FSE/BSE检测器运行所需的所有电子设备已经包含在Eflash+检测器包装中。除了方便之外,这还确保了信号损失被最小化,因为前置放大器靠近探测器。

BSE检测器可改善图像质量

由于在EBSD模式下的样品倾斜度高,因此标准的SEM SE和BSE检测系统倾向于产生低质量的嘈杂图像。Argus™BSE检测器的定位最佳,可从倾斜角度获得样品中获取BSE信号。这包括屏幕上方的位置以及对样品的倾向,这两者都确保了最佳信号强度。此外,EDS检测器可以适合BSE检测器之间,以提供同时进行EDS和EBSD采集的最佳条件。产生的信号可以单独使用,也可以与FSE检测器中混合。

与Argus™FSE检测器的色彩方向对比图像

位于磷光器筛网下方的三个Argus™FSE探测器中的每个探测器都捕获了高度各向异性衍射的前置信号(kikuchi模式)的不同部分。这使Argus™系统可以检测到丝毫信号变化,这是由于在多晶样品上进行扫描时的方向变化。使用颜色编码(RGB)显示信号,即使是非常小的方向变化也可以看到人眼。此功能是Argus™系统独有的。(有关该技术的更多详细信息,请参阅A. P. Day等,《显微镜杂志》,第195卷,第3页,第3页,1999年9月,第186-196页。

信号优化是快速而完全自动的,这要归功于其完整的集成到ESPRIT软件。另外,FSE信号可以与BSE信号结合使用。

Argus™图像既具有科学和实际应用。