ARGUS FSE/BSE成像系统

的eFlash EBSD探测器可选择与ARGUS™预测电子(FSE)和背散射电子(BSE)成像系统。这进一步增加了探测器的通用性，并为有意义和有效的微观结构表征提供了有价值的附加信息。

两套BSE检测器安装在EBSD检测器的屏幕上方。屏幕下方是三个FSE探测器。探测器的这种位置并不影响eFlash的性能或用户友好性，屏幕仍然是用户可更换的。FSE/BSE探测器操作所需的所有电子设备已经包括在eFlash+探测器封装中。除了方便之外，这也确保了信号损失最小化，因为前置放大器接近检测器。

改善图像质量的BSE探测器

由于EBSD模式下的高样本倾斜，标准的SEM SE和BSE检测系统往往产生低质量的噪声图像。ARGUS™BSE检测器的位置最优，可以从高倾斜角度的样本中获取BSE信号。这包括屏幕上方的位置和对样品的倾斜，这两者都能确保最佳的信号强度。此外，EDS检测器可以安装在BSE检测器之间，为同时采集EDS和EBSD提供最好的条件。产生的信号可以单独使用，也可以与FSE检测器的信号混合使用。

与ARGUS™FSE探测器的彩色方向对比图像

位于荧光屏下方的三个ARGUS™FSE探测器分别捕获高度各向异性的衍射预报信号(菊池模式)的不同部分。这使得ARGUS™系统能够检测到最轻微的信号变化，这是由于扫描多晶样品时方向变化引起的。使用彩色编码(RGB)来显示信号，即使很小的方向变化也能被人眼看到。这个特性是ARGUS™系统独有的。(有关该技术的更多细节，请参阅a.p. Day等人，《显微杂志》，Vol. 195, Pt. 3, 1999年9月，pp. 186-196)。

信号优化是快速和全自动的，因为它完全集成到精灵软件．同时，FSE信号也可以与BSE信号相结合。

ARGUS™图像具有科学和实际应用。