ARGUS FSE/BSE成像系统

安装在eFlash屏幕上方和下方的FSE/BSE探测器

eFlash EBSD探测器可选配ARGUS™forecatered electron (FSE)和backscattered electron (BSE)成像系统。这进一步增加了探测器的通用性,并为有意义和有效的微观结构表征提供了有价值的附加信息。

两组BSE检测器安装在EBSD检测器屏幕上方。三个FSE探测器在屏幕下方。探测器的这个位置不影响eFlash的性能或用户友好性,屏幕仍然是用户可更换的。所有操作FSE/BSE探测器所需的电子设备已经包含在eFlash+探测器外壳中。除了方便之外,这也确保了信号损失最小化,因为前置放大器接近检测器。

提高图像质量的BSE探测器

由于EBSD模式下样品的高度倾斜,标准的SEM SE和BSE检测系统往往会产生低质量的噪声图像。ARGUS™BSE探测器被优化放置,以从高倾角的样品中获取BSE信号。这包括屏幕上方的位置和朝向样品的倾斜,这两者都确保了最佳的信号强度。此外,EDS检测器可以安装在BSE检测器之间,为同时采集EDS和EBSD提供可能的最佳条件。产生的信号可以单独使用,也可以与FSE探测器的信号混合使用。

彩色方向对比图像与ARGUS™FSE探测器

位于荧光屏下方的三个ARGUS™FSE探测器分别捕获高度各向异性衍射林散射信号(菊池模式)的不同部分。这使得ARGUS™系统在扫描多晶样品时,可以检测到由于方向变化而产生的最轻微的信号变化。使用颜色编码(RGB)来显示信号,即使是非常小的方向变化也能被人眼看到。这个特性是ARGUS™系统独有的。(有关该技术的更多细节,请参阅A. P. Day等人,《显微镜杂志》,第195卷,第3页,1999年9月,第186-196页。)

信号优化是快速和全自动的,因为它完全集成到精灵软件.FSE信号也可以与BSE信号相结合。

ARGUS™图像具有科学和实际应用。