以EBSD为特征的基于镍的超合金微观结构
图1：用Argustm成像检测器获得的相对造影剂图像揭示了至少4个不同的阶段。注意相边界存在许多细节的存在。同时进行EBSD/EDS测量的结果如图2和5所示。
基于镍的超合金以其出色的机械强度，对热蠕变变形，疲劳，腐蚀或氧化的抗性而闻名。因此，它们通常是使用气动涡轮和航空发动机进行高温结构应用的首选材料。其微观结构的表征对于控制机械性能至关重要。此外，必须从次级沉淀（ɣ’，硝酸盐，碳化物）中加强固体溶液和降水量才能达到高温强度。因此，确定在加强过程中形成的未知沉淀物的重要性。
在此应用程序示例中，我们揭示了EDS辅助EBSD测量在成功识别和索引不同阶段（包括精细沉淀物）的重要性。在图1中的相对比图像上可见测得的区域（用Argus™BSE检测器获取）。可以从Argus图像中推断出许多细节（碳化物）和其他3个不同阶段的存在。通过空间分辨率为50 nm步长以解决碳化物。EBSD结果如图2、5和6所示。使用联合EDS和EBSD测量值确定了四个阶段：镍（基质），镍铝，镍钨和碳化物。
该分析中的挑战是成功区分碳化物与镍基质相。两者都有立方FCC结构，因此产生非常相似的衍射模式（见图3和图4）。为此，ED辅助EBSD索引将地图离线纠正。结果如图5所示。
图2：未加工的EBSD相位图。使用EDS和EBSD的梳子确定所有阶段。镍矩阵相显示为红色，蓝色，蓝色，黄色，绿色为niw。命中率为97％。碳化物和镍相不能仅通过EBSD轻松区分，因为它们共享相似的晶格参数，从而产生相似的衍射图（见图3和图4）。因此，在EBSD索引期间需要EDS援助。由于与EBSD索引同时测量EDS，因此无需SEM即可离线校正数据。结果如图5所示。
图3：镍基质相，立方FCC结构的晶体学信息，具有晶胞和相应的球形kikuchi模式（运动学模拟）。
图4：具有晶胞和相应的球形kikuchi模式（运动学模拟）的斜镍碳化物相，立方NaCl结构的晶体学信息。
图5：具有EDS助攻的EBSD相位图：在ED的帮助下，所有阶段均可区分。索引率为98.6％，没有误解，精细的碳化物得到了很好的解决。可以在SEM或离线进行现场实时进行EDS辅助EBSD索引，从而随时更正或完成测量，而无需在SEM上花费额外的时间。