基于镍的超合金微观结构，其特征在于EBSD
图1：使用argesm成像检测器获取的相位对比图像显示至少4个不同的阶段。注意相位边界处存在许多细沉淀物。同时EBSD / EDS测量结果如图2和5所示。
镍基超合金以其优异的机械强度，耐热蠕变变形，疲劳，腐蚀或氧化而已知。因此，它们通常是具有燃气轮机和航空发动机的高温结构应用的首选材料。它们的微观结构的表征对于相对于机械性能来控制至关重要。另外，需要从二次相沉淀（ɣ'，氮化物，碳化物）的固溶体和沉淀，以实现高温强度;因此，在强化过程中确定形成未知沉淀物的重要性。
在该应用示例中，我们揭示了EDS辅助EBSD测量在成功识别和索引不同阶段的重要性，包括细沉淀物。在图1中的相位对比图像上可见测量区域（用Argus™BSE探测器获取）。可以从Argus图像推断出许多细沉淀物（碳化物）和3种不同相的存在。结合EBSD / EDS测量以50nm尺寸的空间分辨率进行，以便解析碳化物。EBSD结果如图2,5和6所示。使用组合EDS和EBSD测量来鉴定四相：镍（基质），铝，镍钨和碳化钽。
该分析中的挑战是成功地将碳化物与镍基阶段区分开来。两者都具有立方FCC结构，因此产生非常相似的衍射图案（见图3和4）。为此，地图通过EDS辅助EBSD索引纠正了离线。结果如图5所示。
图2：未处理的EBSD相位映射。使用EDS和EBSD的反抗鉴定所有阶段。镍基质阶段以红色，坦丁的红色，坦丁，绿色呈现为红色。命中率为97％。碳化物和镍相不能通过EBSD轻松区分，因为它们共享相似的晶格参数，导致类似的衍射图案（见图3和4）。因此，EDS辅助是在EBSD索引期间需要的。由于对EDS与EBSD索引同时测量，因此可以脱机数据，而无需SEM。结果如图5所示。
图3：镍矩阵相的晶体信息，立方FCC结构，具有单元电池和相应的球形kikuchi模式（运动仿真）。
图4：钽镍碳化镍相，立方NaCl结构的晶体信息，具有单位细胞和相应的球形kikuchi模式（运动仿真）。
图5：EBSD相位映射与EDS - 辅助：所有阶段都在EDS的帮助下区分。索引率为98,6％，没有误导和细碳化物很好地解决。EDS辅助EBSD索引可以在SEM或离线处实现，允许在任何时候纠正或完成测量，而无需在SEM上支出额外的时间。