碳化钨切割工具的TICN硬涂层
金属切削刀具使用水泥碳化物如WC-CO（富含钴的碳化物碳化物），具有不同的CVD和PVD基涂层，以改善表面硬度，刚性和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物，如锡，TiC，ZrN，VN，TiCN，TiAlN。
在此应用示例中，TIC / N和AL2O.3.WC-CO层上的图层用EDS映射。FIG。图1示出了切削刀具边缘的聚焦离子束（FIB）横截面。顶部锡涂层之后是Al2O.3./ TiN / TiCN / TIN和WC-CO作为基质。和eds.，我们可以区分锡，TICN和TIN层之间的N组成的变化（图2）。此外，Esprit.来自Bruker的分析软件能够自动解构强烈重叠的Ti和N（图4）。
图1：EDS地图和碳化钨切割工具上不同涂层的SE图像，使用聚焦离子束铣削（FIB）抛光表面。
图2：EDS地图显示Ti，C和N分布，左侧：TIN / TICN / TIN和TIC。EDS可以容易地区分轻质元素之间的组成变化，如C和N.
图3：超硬切削工具中WC衬底和CO粘合剂的EDS地图。
图4：使用ESPRIT分析软件自动解卷积和TI和N的定量。