TICN硬涂层碳化水碳化物切割工具

金属切割工具使用具有不同的CVD和PVD涂层的WC-CO(碳化碳化碳化物)等胶结碳化物,以提高表面硬度,刚度和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属硝酸盐和碳化物,例如锡,TIC,ZRN,VN,TICN,TIALN。

在此应用程序示例中,TIC/N和AL2o3WC-CO层上的层用ED映射。FIG。1显示切割工具边缘的聚焦离子束(FIB)横截面。顶部锡涂层之后是Al2o3/tin/tiCn/tin和wc-co作为底物。和eds,我们可以区分锡,TICN和锡层之间氮组成的变化(图2)。此外,Esprit来自Bruker的分析软件能够自动重叠Ti和N(图4)。

图1:EDS映射和SE图像在钨碳化物切割工具上的不同涂层层的图像,使用聚焦离子束铣削(FIB)抛光表面。
图2:EDS图显示了Ti,C和N分布,从左开始:TIN/TICN/TIN和TIC。ED可以轻松区分C和N等光元素之间的组成变化。
图3:超级硬切割工具中WC基材和CO粘合剂的EDS图。
图4:使用ESPRIT分析软件对Ti和N进行自动反向卷积和量化。