硬质合金刀具涂层

金属切削工具使用像WC-Co(在富钴基体中碳化钨)这样的硬质合金与不同的CVD和PVD基涂层来提高表面硬度、刚度和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物，如TiN、TiC、ZrN、VN、TiCN、TiAlN。

本例中为TiC/N和Al₂O_3.WC-Co层上的层用EDS进行了映射。F搞笑。1为刀具边缘的聚焦离子束(FIB)截面。表面镀锡层后镀铝层₂O_3./TiN/TiCN/TiN和WC-Co衬底。与EDS，我们可以区分TiN、TiCN和TiN层的N组成变化(图2)。此外，思捷环球Bruker的分析软件能够自动对强重叠的Ti和N进行去涡处理(图4)。