材料研究中高端茎的大型收集角EDS检测器必威手机客户端
示例 - 半导体结构
传输电子显微镜的单EDS检测器必须满足非常特定的几何约束。X射线收集的大量实体角度不够。高起飞角度，合适的准直仪形状或杆件盖以及适应的标本持有器几何形状对于成功的EDS分析至关重要，并有助于控制阴影和系统峰。大椭圆形检测器区域（例如100毫米2）可以支持某些情况下所有这些参数的优化。但是，对于其他TEM几何形状，冷陷阱和杆片形状构成的约束可能只能由较小的探测器区域解决（30毫米2和60毫米2）。只有对每个显微镜几何形状的仔细评估才能确保正确的检测器选择。在上述所有情况下，布鲁克的检测器纤细线设计有助于。
这Xflash®6T-100椭圆形，安装在像矫正茎上的位置，用于评估截面标本中截面标本中的元素分布。（数据提供：ACE，图1）。为了正确评估该半导体结构的化学成分，分离重叠元件线（例如在1.4 keV和2 keV之间的Ni和Ti）中分离重叠元件尤其重要，以及重叠GE和W大约10kev的线。此外，来自显微镜内部和标本持有人的GA离子铣削和二次荧光的残基会使分析变得复杂。布鲁克的ESPRIT软件提供了舒适解决这些问题的手段（图2）。重叠的元素线可以很容易地识别。对背景模型和背景减法的清晰处理有助于考虑和识别频谱中存在的每一行。可以定期识别系统峰，并在校正其对定量结果的影响的同时排除在量化之外。相对的悬崖 - 莱顿因子和绝对Zeta因子方法可用于定量。
在此，应用了悬崖 - 路标方法来量化样品中的元素分布。所使用的理论悬崖长因子是根据ESPRIT不断更新的原子数据库以及已知的检测器特异性几何形状和检测器材料组成计算的。定量分析了所有元素的分布，包括氮以及hafnium和钛的分布，这些分布是按薄层设计的，它们是按薄层设计的。通过产生的数据，可以通过NM精度评估结构的质量，并且可以找到设备故障的潜在原因（图1-3）。
请考虑以下同行恢复的出版物，以在其他研究领域的高固体角椭圆形检测器进一步应用。
[1]X射线光谱学的单个杂原子鉴定（开放访问）
Applied Physics Letter第108卷，第163101期，2016年；作者：R。M. Stroud，T。C. Lovejoy，M。Falke，N。D. Bassim，G。J. Corbin，N。Dellby，P。Hrncirik，A。Kaeppel，M。Noack，W。Hahn，W。Hahn，M。Rohde和O. L. Krivanek
[2]直接原子尺度测定室温多效材料中磁离子分区（开放访问）
科学报告7，（2017）文章编号：1737；作者：L。Keeney等。
