天狼星RF
提供行业标准可靠性的第四代系统
半标准合规性
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天狼星RF
Sirius RF是成熟平台中的第四代系统，提供行业标准可靠性、易用性、工厂自动化和半标准合规性。
会聚光束
XRR
在划线上提供快速的第一原理厚度和密度测量
双源
µ光谱仪的配置
为每个设备的不同层提供灵活性和最佳性能
多层
测量能力
在计量垫上或以无损方式直接在设备上进行成分和厚度测量
的特性
天狼星射频特性
- 会聚束XRR用于划线上的快速第一原理厚度和密度测量
- 双源µXRF配置，为每个设备提供多种层的灵活性和最佳性能
- 用于高级内存（DRAM、PCRAM、3D-NAND、MRAM）、逻辑、电源设备和封装
- 成分和厚度测量
- 在计量垫上或直接在设备上（非破坏性方式）
- 多堆栈测量能力
应用
应用实例：PCRAM
- 存储元件（GeSbTe-GST）和卵频阈值开关（OTS，GeAsSe）的组成和厚度是关键参数
- Sirius RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测
- 快速会聚束XRR允许在每点1-2秒的时间内测量厚度。
支持
支持
我们能帮忙吗？
Bruker与我们的客户合作解决实际应用程序问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务持续下去，直到工具售出很久。betway手机客户端下载
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