硅核-c壳层硅纳米颗粒的超高分辨率元素映射

对于束敏样品(如Si纳米颗粒)，基于sem的EDS分析需要非常低的束电流和/或非常短的测量时间。当需要高空间分辨率时，需要使用低电压来减小电子与样品的相互作用体积。对于传统的EDS测量来说，这样的分析条件是具有挑战性的，因为诱导x射线产率很低，因此需要很长的测量时间。结果是光束引起的样品漂移影响了空间分辨率。

EDS测量XFlash^®FlatQUAD克服这些局限性。独特的几何形状XFlash^®FlatQUAD对低x射线成品率材料实现高检测灵敏度，在低探头电流下提供高计数率。必威手机客户端因此,XFlash^®FlatQUAD探测器是测绘波束敏感材料的理想选择，甚至与地形有关。必威手机客户端

这个例子展示了硅纳米颗粒的高分辨率地图(像素间距为2纳米!)映射是用XFlash^®FlatQUAD5 kV, 520 pA, 377 s采集时间。结果表明，纳米粒子的特征是硅核(绿色)和碳壳(红色)。(数据提供:S.Rades等人，英国皇家化学学会进展，2014,4,49577)