超高分辨率的Si-Core-C-壳硅纳米粒子映射

对于光束敏感样品的SEM的EDS分析，例如Si纳米颗粒，需要非常低光束电流和/或非常短的测量时间。在需要高空间分辨率时，必须使用低电压以减少电子样品交互体积。对于常规EDS测量，这种分析条件是具有挑战性，因为诱导的X射线产量非常低，因此需要很长的测量时间。结果是光束诱导的样品漂移，其影响空间分辨率。

编辑测量执行Xflash.^®Batrquad.克服这些限制。独特的几何形状Xflash.^®Batrquad.为低X射线产量材料提供高检测灵敏度，在低探针电流下提供高计数速率。必威手机客户端就这样Xflash.^®Batrquad.探测器即使用地形映射光束敏感材料也是理想的选择。必威手机客户端

该示例呈现了硅纳米粒子的高分辨率图（2nm的像素间隔！）。映射完成了Xflash.^®Batrquad.在5 kV，520 pa和377次采集时间。结果表明本纳米颗粒的特征在于硅芯（绿色）和碳壳（红色）。（数据提供：S.RADES等人。，皇家化学学会，2014,4,49577）