硅核壳硅纳米颗粒的超高分辨率元素图谱

基于SEM的EDS分析束流敏感样品（如硅纳米颗粒）需要非常低的束流和/或非常短的测量时间。当需要较高的空间分辨率时，有必要使用低电压来减小电子与样品的相互作用体积。对于传统的EDS测量，这种分析条件具有挑战性，因为感应X射线产额非常低，因此需要很长的测量时间。其结果是束流引起的样品漂移会影响空间分辨率。

EDS测量使用XFlash^®扁平四边形克服这些限制。独特的几何结构XFlash^®扁平四边形对低x射线产额材料实现高检测灵敏度，在低探头电流下提供高计数率。因此必威手机客户端XFlash^®扁平四边形探测器是绘制光束敏感材料的理想选择，即使在地形条件下也是如此。必威手机客户端

本例展示了硅纳米颗粒的高分辨率贴图（像素间距为2 nm！）。映射是用一个XFlash^®扁平四边形在5 kV、520 pA和377 s的采集时间下。结果表明，所制备的纳米颗粒具有硅核（绿色）和碳壳（红色）的特征。（数据提供：S.Rades等人，皇家化学进步学会，2014年，449577）