FastScan职业
用于工业研发的自动化纳米计量学必威东盟体育
Punti salienti
Dimension FastScan Pro
Dimension FastScan Pro提供了当今任何工业AFM的最高计量级速度和性能。必威东盟体育该系统可实现自动化或半自动化测量，同时确保最大程度的易用性和最低成本的每次测量的质量控制，质量保证，和故障分析。
专有的
AFM生产技术
实现业界领先的表面特征化。
无可匹敌的
betway手机客户端下载服务和支持
通过运营效率降低成本。
自动化
原子力显微镜扫描仪
提供可靠、无缝的测量工作流。
卡拉特里希
生产的多功能性
FastScan Pro利用一个开放的平台，大或多样本持有人，以及许多易于使用的功能，为工业QA, QC和FA应用提供灵活的高性能纳米尺度计量。必威东盟体育该系统可为半导体、数据存储和HB-LED提供2- 12英寸的自动晶圆测量。它的特点是增加了XY样品旅行完全访问200mm晶圆或多个样品在200毫米直径的区域，可选卡盘为300毫米晶圆。该系统还提供了高通量5-10倍FastScan扫描仪，用于地形、粗糙度和其他计量分析，或具有90µm扫描范围的Icon扫描仪，用于更大的扫描和高精度的地形性能。
强大的自动化软件
自动气象™ 全配方软件提供快速、自动化计量、简单操作和AFM适应性，便于捕获生产中所需的关键质量测量值。该软件允许对多个样品或单个大样品进行自动测量，以便跨多个位置进行纳米级表征。它还提供光学和AFM图像模式识别、尖端定心、全晶圆或网格映射支持，以及数十纳米范围内的图像放置精度。全面而简单的配方编写为高级用户提供了实时和离线使用。
简单的测量配方创建允许工程师通过名称定义位置，分配任何类型，并对每个位置的测量进行编号。
配方窗口显示基于晶圆片的精确布局，用户自定义的X-Y测量位置在晶圆片中。
精确的Probe-Sample控制
Dimension FastScan Pro提供最精确的探针样品控制，允许最广泛的样品类型，从软聚合物、薄膜和电样品到非常硬的材料。必威手机客户端
独特的技术，使精确力的任何原子上的样品。这种精确的探针-样品控制允许最广泛的样品类型，从软聚合物、薄膜和电样品到硬材料。必威手机客户端在数百次的啮合和数据扫描中，它还提供了最低的可用成像力和较长的探针尖端寿命。
应用锡奥尼
尺寸FastScan Pro数据库
由于探头振荡的过度阻尼，沟槽难以以典型成像模式成像。ScanAsyst很容易到达战壕底部。在此示例中，使用标准Bruker探针定期测量深度约为65 nm、宽度约为50 nm的沟槽。
半自动化的全天候操作使用Dimension AFM来描述用于过程控制的3D几何形状。
极平坦的玻璃基板，粗糙度值Rq=0.194nm，Ra=0.153nm。
碱铝硅酸盐平板玻璃的主要性能是其强度和耐划伤性，这使得一致可靠地测量其纳米形貌具有挑战性。使用FastScan AFM和单个Bruker HPI探针，第一幅图像（a）渲染粗糙度Rq=0.99 nm，Ra=0.79。第615（B）号图像呈现了相同的粗糙度；Rq=0.99纳米，Ra=0.79。插图是1号和615号扫描的数字放大图像，显示了微不足道的地形变化。